जैसा कि हम सभी जानते हैं, दुनिया में केवल एक ही निर्माता है, जो ईयूवी लिथोग्राफी का उत्पादन कर सकता है, वह नीदरलैंड एएसएमएल है।
और यही कारण है कि दुनिया का एकमात्र ऐसा क्यों है, यह इसलिए है क्योंकि ASML बहुत सारे प्रमुख निर्माताओं को एक साथ बांध देगा, जैसे कि जर्मन ऑप्टिक्स कंपनी Zeiss (Zeiss), और फिर यूनाइटेड स्टेट्स Cymer, और फिर जर्मन टॉम फास्ट ग्रुप (TRUMPF) ) और इसी तरह।
ASML ने इन निर्माताओं को निवेश, अधिग्रहण, शेयरधारिता, अनुसंधान केंद्रों की स्थापना आदि के माध्यम से अपने रथ से जोड़ा है, और ये निर्माता, शायद दुनिया के एकमात्र निर्माता हैं जो इन उत्पादों का उत्पादन कर सकते हैं, इसलिए अंततः केवल ASML ही EUV लिथोग्राफी का उत्पादन करने में सक्षम है इस दुनिया में।
हालाँकि, हाल ही में, ASML की एक प्रमुख आपूर्ति श्रृंखला, शेन्ज़ेन, चीन में एक कारखाना बनाने के लिए दौड़ी, इसकी शेन्ज़ेन सहायक बाओन चीन-जर्मन (यूरोप) औद्योगिक प्रदर्शन पार्क में बस गई।
यह निर्माता जर्मनी का टॉम फास्ट ग्रुप (TRUMPF) है, यह ASML का EUV लिथोग्राफी है, जो दुनिया का एकमात्र लेजर स्रोत आपूर्तिकर्ता है।
EUV लिथोग्राफी में TRUMPF उत्पाद कितने महत्वपूर्ण हैं? सबसे पहले, मैं EUV लिथोग्राफी के सिद्धांत की व्याख्या करता हूँ, आप समझ जाएंगे।
ईयूवी लिथोग्राफी का सिद्धांत, सरल शब्दों में कहें तो, तीन प्रमुख प्रणालियों, ईयूवी यूवी प्रकाश स्रोत प्रणाली, वस्तुनिष्ठ लेंस प्रणाली और तालिका प्रणाली पर केंद्रित है।
विशिष्ट प्रक्रिया अत्यधिक पराबैंगनी प्रकाश के 13.5 एनएम तरंग दैर्ध्य को उत्तेजित करने के लिए लेजर का उपयोग करना है, और फिर प्रकाश की एक नियंत्रित किरण बनाने के लिए सुधार के बाद, और फिर प्रकाश की इस किरण को फोटोमास्क टेबल पर प्रक्षेपित किया जाता है, और फिर उद्देश्य के माध्यम से प्रक्षेपित किया जाता है। एक्सपोज़र टेबल के लिए दर्पण, और अंत में फोटोरेसिस्ट के साथ लेपित सिलिकॉन वेफर पर सर्किट को उकेरा।
EUV UV प्रकाश स्रोत प्रणालियों में से एक को कैसे प्राप्त किया जाता है, एक टिन (Sn) धातु की छोटी बूंद पर 30 kW पॉवर CO2 लेजर के साथ बमबारी करके, इसे एक प्लाज्मा में वाष्पित करके, और अंत में 13.5 एनएम तरंग दैर्ध्य EUV प्रकाश प्राप्त किया जाता है।
यह 30 kW CO2 लेज़र TRUMPF द्वारा प्रदान किया गया है, जो दुनिया में अपनी तरह का एकमात्र है।
इस CO2 लेजर को कम मत समझो, इसमें 457,329 भाग हैं, सिस्टम में केबल की लंबाई 7,322 मीटर तक है, और वजन 17,090 किलोग्राम है, जो EUV लिथोग्राफी में सबसे महत्वपूर्ण मुख्य घटकों में से एक है।
अब TRUMPF चीन में एक कारखाना बनाने के लिए दौड़ा, इरादा स्पष्ट है, जो कि चीनी लेजर बाजार के बारे में आशावादी है, और इससे भी अधिक दीर्घकालिक दृष्टिकोण, चीनी लिथोग्राफी बाजार के बारे में आशावादी, भविष्य ईयूवी लिथोग्राफी बनाने के लिए चीन के साथ सहयोग कर सकता है .
वास्तव में, कारखाने के निर्माण के लिए पहले से ही एक से अधिक ASML आपूर्ति श्रृंखला चीन में चल रही है, KMWE और अन्य निर्माताओं से पहले, चीन में एक कारखाना बनाने के लिए भी।
वर्तमान प्रवृत्ति के अनुसार, हम आशावादी रूप से उम्मीद कर सकते हैं कि यह चीन की लिथोग्राफी तकनीक से पहले एक बड़ा कदम होगा, और यहां तक कि आउटपुट ईयूवी लिथोग्राफी की मात्रा भी आगे देख सकती है, क्या आपको लगता है?
